CO分析器 VeraSpec™ APIMS-SX5

ガスCH4水用

半導体メーカーは、プロセスガスの純度をリアルタイムで継続的に検証し、1兆分の1（ppt）以下の濃度で微量汚染を検出する能力を必要としています。 ほとんどのアプリケーションで要求される長期再現性を提供する安定性で、広範囲のガスと混合ガスをモニターします。 ストリームスイッチャー機能付きAPIMS SX5についてはお問い合わせください。 -超高純度バルクガスのモニタリングのためのエレガントなストリームスイッチング 全てのクリティカルなガスのリアルタイム、複数種モニタリング 微量O2を含むバルク電子ガス中の不純物、 H2、H2O、CH4、CO、CO2、N2、Arなど。 - 新機能オプションの自動ストリームスイッチング機能 SX5 ストリームスイッチャーガスキャビネット。 最大5つのバルクガス間を自動的にサイクルします！ - PPTから100%までの比類ない測定範囲と独自のデュアルソースイオン化構成 - 統合されたユーザーインターフェイスと定期的な自動校正で使いやすい - 業界最高のカスタマーサポートとアプリケーションチーム