残留ガス分析器 EXTREL™ RGA™

監視用記録モジュール式

当社のEXTREL™残留ガス分析計RGA™は、フルレンジの圧力測定を含む、信頼性が高く使いやすい残留ガス分析計です。このシステムは、バックグラウンドガス分析、リーク検出、真空チャンバーの特性評価に理想的な選択肢です。 1～100amuまたは1～300amuの2つの質量レンジがあります。システムはファラデー検出器またはオプションのデュアルファラデー/電子増倍検出器を標準装備しています。残留ガス分析計RGAは、Windows® XPまたは7オペレーティングシステムでRS-232CまたはUSB通信を利用します。ソフトウェアは強力で使いやすい。 利点 残留ガス分析計RGAは、残留ガスの組成を測定・分析するために真空システムで一般的に使用される、高感度で汎用性の高いガス分析計です。以下は残留ガス分析計RGAの利点の一部です： 高感度：高感度で、微量レベルのガスを検出できます。1～300原子質量単位（amu）の質量範囲のガスを検出できるため、幅広いアプリケーションに適しています。 リアルタイムモニタリング残留ガスをリアルタイムでモニタリングし、真空システムのフィードバックと調整を即座に行うことができます。これは、ガス組成のわずかな変化が性能に大きな影響を与える高精度アプリケーションにおいて特に重要です。 汎用性：真空処理、半導体製造、材料科学など、幅広いアプリケーションに使用できる汎用性の高い装置です。