ガス分析器 TIGER OPTICS™ T-I MAX™

水素塩化物監視用

次世代微量塩化水素ガス分析計 デバイスの最終テスト段階で、壊滅的な製品性能や歩留まりの低下が発見された場合、長い時間をかけて空気中分子汚染物質（AMC）を「探す」こともできます。あるいは、TIGER OPTICS™ T-I Max™ HClアナライザーを導入して、装置、人員、ウェハー搬送装置、クリーンルーム・ベイの周辺に潜む、目に見えない欠陥の発生源を特定し、監視することもできます。 今日の高度な半導体プロセスでは、様々な材料、加速された処理作業、基板の保管や搬送から発生する残留ガス、蒸気、化学物質が重大な関心事となっています。そのため、半導体の国際技術ロードマップ（ITRS）では、デバイスの低欠陥率を達成・維持するための重要な技術課題として、AMC汚染を取り上げています。 AMCの「化学汚染」の主要因に特に焦点を当てたT-I Max HClアナライザーは、当社の新しいグローバル・プラットフォームに基づいており、感度、選択性、応答速度のかつてない組み合わせでHClを検出し、継続的にモニターすることができます。 当社のAMC用GO-cartは、さまざまな重要なモニタリング・ポイントに素早く移動できるモバイル・プラットフォームを提供することで、さらに柔軟性を高めています。 利点 キャビティ・リングダウン分光法（CRDS）による高感度絶対測定技術 劇的に改善された応答速度と1兆分の1単位の検出限界 ドリフトフリー、世界有数の標準研究所でトレーサブルな校正 メンテナンスフリーで、所有コストが最も低い