電流発電機 Bias

電圧RF

RFプラズマ装置用テーラードバイアス波形発生装置 プロドライブテクノロジーズは、プラズマ処理におけるシースイオンのエネルギー分布を直接制御するための破壊的なテーラードバイアス波形発生器を発表します。テーラードバイアス波形出力は、電流と電圧を独立して制御でき、リアルタイムに測定されます。このシースイオンエネルギーの直接制御により、従来のRFバイアスに比べ、エッチングおよび蒸着プロセスの制御と精度が大幅に向上し、イオンエネルギー分布をカスタマイズして非常に狭い分布やテールの除去を可能にします。その結果、プロセス速度の最適化と高感度フィーチャーの選択性を最大化することができます。また、バイアスのエネルギー消費量を削減し、従来の技術に対してシステムの効率を向上させます。 テール排除による狭小なイオンエネルギー分布 リアルタイム波形監視によるバイアス条件の最大制御 従来のRFシステムとの迅速な統合 独自の波形オートチューニング プラズマジェネレーターバイアス映像 このビデオでは、テーラード・ウェーブフォーム・バイアスの仕組みを模式的に説明しています。