カメラ型検出器

シリコンビーム高感度型

電子ビームカメラと検出器により、感度、解像度、取り込み速度において新しいマイルストーンを達成し、マルチビームSEMや最高感度の直接検出TEMカメラを可能にしました。私たちは、お客様とともに次世代の要件を定義し、センサーパートナーとともに新しい市場標準を設定します。私たちは、新しいシリコン、複雑なパッケージング、超高真空に対応したシステムの開発に何が必要かを知っています。私たちは、シリコン設計を完全なシステムの不可欠な部分と考え、歩留まり、性能、統合において最良の結果を得るためのセンサー設計情報を提供することができます。パッケージング、冷却、高速・高密度の真空フィードスルー、システムインテグレーションに関する知識は、私たちをベストパートナーにします。