ガス回収システム ArgonØ ™

真空

ArgonØ™は、限られた数のプロセス装置から閉ループでガスを再利用するため、既存のウェハー製造工場に簡単かつ容易に導入できるとともに、プロセス装置に合わせて段階的に新しい「グランドアップ」設備に導入できるという大きな利点があります。 ArgonØ ™は、炉の排ガスの95%以上をSemi PV6-1110の要求値を超える純度でプロセスに戻し、プロセス中の数千ppmの汚染を除去するリサイクル装置です。 ArgonØ ™は、結晶系太陽電池の製造に必要なシリコンインゴットの育成に使用されるCZおよびDS真空炉からのパージガスを回収、精製、リサイクルするために設計されています。このシステムは、真空炉の排気に使用されるオイルシール式およびドライ式真空ポンプの両方に対応し、ケンブリッジ大学との共同開発技術により、95％以上のリサイクル率を実現しています。リサイクルされるアルゴンガスの純度は、SEMI PV6-1110を上回ります。 本装置はPoint of Use方式を採用しており、最大リサイクル流量約15Nm3/hrの範囲で複数の真空炉に接続することが可能で、現在の真空炉に簡単にレトロフィットできるとともに、真空炉の新設に合わせて段階的に設置することができます。 ArgonØ ™の投資収益率（ROI）は2～3年で、優れた費用対効果を発揮し、ヘリウムもリサイクルする場合には、ROIはさらに向上し、通常6～12ヶ月となります。さらに、ArgonØ™は、典型的な真空炉のCO2排出量を年間3～5トン削減し、供給の安全性も向上させます。