SAM 400は、専用の高スループット解析、品質管理、研究アプリケーション向けの非破壊音響調査を可能にする高性能ツールです。 この製品は、新しい高速メンテナンス・フリー・ステージと、ユーザーフレンドリーなグラフィカル・インターフェースを介して制御される最大 400 MHz の新しい rf および探触子技術を備えています。
最新の生産および研究技術を活用したコアプラットフォームを中心とした半導体業界標準に基づいて構築されたSAM 400は、最大 300mmのウェハと最大 660x860x60mm(w/l/h)のサンプルを正確に処理できます。 超音波周波数は、10MHz 〜 400MHzのトランスデューサで最大 500MHzの範囲です。 異なるタンクサイズとトレイが用意されています。
走査範囲:X = 250ミクロン-430ミリメートル、Y = 250ミリメートル-430ミリメートル、Z = 100ミリメートル
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