ドライクリーニングシステム

自動ウェハー用

PCS - ウェットからドライへのポストポリッシュクリーニングシステムは、パーティクルやコンタミを除去し、完全にクリーンなウェーハ表面を形成します。本装置は、直径300 mmまでのウェーハに対応します。フルピッチまたはハーフピッチのセットアップ、キャリアまたはキャリアレスハンドリング - 本装置はお客様の要件に適応し、お客様の工場に完璧に統合されます。 特長と利点 ウェットインプットカートの統合 卓越した表面清浄性 キャリアレスハンドリング ハーフピッチプロセスオプション 高度なプロセスモニタリング OHTロードポートへのマルチウェーハ搬送