スプレークリーニングシステム SAT

プロセスハンギング

湿式化学洗浄とエッチングプロセスのアプリケーションは、すすぎと乾燥を含めて非常に効率的に実行されます。RENA スプレーバッチシステムは酸と塩基用に設計されています。1つのチャンバーで最大5つのプロセスを組み合わせることができ、効率とプロセスの最適化に大きな可能性を提供します。オペレーターが直接薬液に触れることがないため、プロセスが安全です。 特徴と利点 媒体消費量の削減 フットプリントの最適化 シングルまたはデュアルカセット対応 高い保守性、容易なアクセス SECS/GEMインターフェースオプション 柔軟でアップグレード可能 オペレーターの安全性向上