溶媒クリーニングシステム SST

スプレープロセス

溶剤洗浄、レジスト剥離、現像の各工程において、リンス、乾燥を含め、高い効率で作業を行うことができます。RENAスプレーバッチシステムは溶剤用に設計されています。異なる種類の溶剤を1つのチャンバーで組み合わせることができ、効率とプロセスの最適化に大きな可能性を提供します。オペレーターが直接溶剤に触れることがないため、安全なプロセスを実現します。 特徴と利点 媒体消費量の削減 最適化された設置面積 シングルまたはデュアルカセット対応 高い保守性、容易なアクセス SECS/GEMインターフェースオプション 柔軟でアップグレード可能 オペレーターの安全性向上