すすぎ用乾燥機 COMPASS SRD

スプレーノズル式

RENA COMPASSスピンリンスドライヤーは、前工程の残渣をリンスオフし、ウェハーを乾燥させるプレミアムウェハードライヤーです。これらのプラットフォームは、今日のSRDに見られる最も高度な機能を提供します。RENA COMPASS SRDファミリーは、卓越した清浄度、乾燥度、パーティクルスペックを提供しながら、運用コストを削減するように設計されています。これらのプラットフォームは、ハイプロファイルとロープロファイルの両方のカセットで、純水リンスとそれに続く窒素乾燥を利用している。COMPASS SRD の非接触加熱は、よりクリーンな N2 をもたらす。 特徴と利点 低い運転コスト 大幅なN2節約 低パーティクル性能 10ノズル純水スプレーマニホールド 優れた振動・静電気制御 IDX Flexwareによる高度なプロセス制御 N2ヒーターと温度モニタリングのプログラム可能なセットポイント 抵抗、アンチスタット、ブランケットヒーター制御 高/低プロファイルカセット