掃除用乾燥機 Genesis

スプレーバッチ式すすぎ用

RENA Genesisマランゴーニドライヤーは、乾燥工程と洗浄・リンスを組み合わせたワンステッププロセスです。ジェネシスは特許技術であり、ウェハの清浄度と水分除去に優れています。このドライヤーは、スタンドアローンプラットフォームとしても、バッチ浸漬式ウェットベンチに組み込むこともできます。プロセス全体は、RENA独自のIDX Flexwareプロセス制御ソフトウェアによって監視・制御されます。RENAのマランゴーニドライヤーは、優れた性能、歩留まりの向上、パーティクルの低減を実現します。 特徴と利点 コスト効率に優れる 堅牢、効率的、クリーン 手動または自動ウェハーハンドリング ウェーハサイズ 50 - 200 mm テフロンカセット 疎水性、親水性表面を乾燥 フォトレジストへのダメージなし 低IPA使用量（<20 ml/ドライサイクル） 優れたパーティクル性能 標準サイクル時間7～20分 統合DI水ろ過オプション オプションの薬液注入 オプションのIPA再循環で粒子性能をさらに強化