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イソプロパノール乾燥機 VaporDry
バッチ式すすぎ用掃除用

イソプロパノール乾燥機 - VaporDry  - RENA Technologies GmbH - バッチ式 / すすぎ用 / 掃除用
イソプロパノール乾燥機 - VaporDry  - RENA Technologies GmbH - バッチ式 / すすぎ用 / 掃除用
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特徴

技術
イソプロパノール
バッチ / 連続式
バッチ式
その他の機能
掃除用, すすぎ用

詳細

RENA VaporDryerは、IPA乾燥プロセスと洗浄およびリンスを統合し、シングルステッププロセスを提供します。高アスペクト比のフィーチャーやスルーシリコンビア(TSV)から水分を除去し、複雑な表面を効果的に乾燥させる理想的なソリューションです。VaporDryはRENAバッチ浸漬プラットフォームに組み込むことができます。この乾燥機はFEoLとBEoLの両方のアプリケーションに適用できます。プロセス全体は、RENAの先進的なIDX Flexwareプロセス制御ソフトウェアによって監視、制御されます。 特徴と利点 マランゴーニ乾燥機と比較して低コスト 沸騰サンプベーパードライヤーと比較してIPA消費量を85%削減 堅牢で信頼性が高く、現場で実証済みの性能 卓越した粒子性能(深さ750 µm 設置面積が小さい

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
Baoli EMEA S.p.A.