RENA VaporDryerは、IPA乾燥プロセスと洗浄およびリンスを統合し、シングルステッププロセスを提供します。高アスペクト比のフィーチャーやスルーシリコンビア(TSV)から水分を除去し、複雑な表面を効果的に乾燥させる理想的なソリューションです。VaporDryはRENAバッチ浸漬プラットフォームに組み込むことができます。この乾燥機はFEoLとBEoLの両方のアプリケーションに適用できます。プロセス全体は、RENAの先進的なIDX Flexwareプロセス制御ソフトウェアによって監視、制御されます。
特徴と利点
マランゴーニ乾燥機と比較して低コスト
沸騰サンプベーパードライヤーと比較してIPA消費量を85%削減
堅牢で信頼性が高く、現場で実証済みの性能
卓越した粒子性能(深さ750 µm
設置面積が小さい
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