汎用化学品配布装置用システム FlexChem

RENAのFlexChemは、容器からプロセスツールへの化学薬品の手作業による輸送と注入をなくすために設計されたコンパクトなポンプユニットです。FlexChem は酸、塩基、溶剤のアプリケーションに適したフレキシブルな化学薬品供給システムです。将来の拡張のために、お客様の要求に応じて簡単に拡張することができます。このプラットフォームは、SEMI S2規格の安全衛生プロトコルに準拠しています。 特長と利点 モジュラー、スタッキング可能な構成 ケミカルルーム対応 設置とメンテナンスが容易 ポンプキャビネット設計 最小限の設置面積 内部流出・漏洩検知 視覚・聴覚アラーム 排気モニタリング