太陽電池用処理ライン InOxSide®

化学湿った

RENA InOxSide® 3 自動加工装置は、シリコン太陽電池のエッジアイソレーション、裏面研磨、ドープガラス除去のための統合ソリューションとして設計されています。InOxSide®テクノロジーは、最低の所有コストと最高の性能を実現するプロセスを使用し、Al-BSF、PERC、PERTシリコン太陽電池の製造に最適です。これはRENA NIAKインラインプラットフォームに基づいています。 特徴と利点 5/6レーンのインライン型プロセスで完全自動化されたウェットケミカルシングルサイドエッチング シングルサイドエミッターエッチング、リアサイドポリッシング、ドープガラス（PSG/BSG）除去 シングルサイドエッチングにHF/HNO3/H2SO4を使用し、クラス最高のCoO（Cost of Ownership）を実現。 RENA特許技術 調整可能なリアサイドエッチング：1～5 µm、RENA PreConオプションで最大6 µm) ウェハの洗浄と乾燥を統合 最大6000枚/時間のスループット M0、M1、M2、M4、M6、M12ウェーハサイズに対応。 フィード＆ブリード機能による長いバス寿命 浴組成を一定に保つ正確なドージングシステム Oリングフリーローラーデザインを採用 業界で最も低い破損率 RENA NIAKインライン処理プラットフォームを採用 高い稼働率 メンテナンスが容易 オプション MESインターフェース（SECS/GEM） 薬品供給用メディアキャビネット 薬品排出/排水用ポンプステーション プロセスコントロール用センサー（例：pH、導電率） RENA RaPID (RENAアンチPIDソリューション)