太陽電池用処理ライン InPolySide® 3+

化学

InPolySide® 3+は、TOPConアプリケーション向けに優れた裏面およびエッジエッチングを提供します。LPCVDやPECVDによるPoly-Siの回り込みが除去されます。高いスループットと柔軟なウェーハサイズで、次世代の太陽電池に対応します。省スペースなワンツールソリューションとして設計されたInPolySide®は、プレ酸化膜エッチング、ポリエッチング、洗浄、ガラスエッチング、リンス工程をカバーします。追加のウェハーハンドリングは必要ありません。 応用分野 TopConテクノロジー PERCからのアップグレードが可能 Poly-Siのシングルサイドおよびエッジエッチング 特徴と利点 シャントフリーTopConセル用エッジエッチング 可変性が高く、よく知られたプロセスで、顧客の要求に適応可能： - 低CoO - N型セル - あらゆる種類のPoly-Si（PECVD、LPCVD）用の選択的エミッター。 RENA社特許プロセス 高度に最適化されたハードウェア構成とプロセス設定 1ツールソリューション