湿った処理ライン BatchTex®

太陽電池用

RENA 社は、テクスチャリング、エッチング、洗浄アプリケーション用のバッチ式プロセスにおいて、クラス最高の処理ソリューションを提供します。RENA バッチ N テクノロジーは、高効率太陽電池技術を実現します。 RENA BatchTex® N製造装置は、単結晶シリコン（mono-Si）用の高スループットで最高品質のアルカリテクスチャリングプロセスのためのナンバーワンソリューションです。RENA monoTEX®プロセステクノロジーは最高品質のテクスチャリング結果を保証し、RENA BatchTex®は業界で最も使用されているソリューションです。この装置はRENA Batch Nプラットフォームに基づいています。 RENA BatchEtch N自動処理装置は、シリコン太陽電池のバッチ式エッチングプロセスです。お客様のご要望に応じて、アルカリ性と酸性のプロセスが可能です。洗浄ステップもツールに組み込むことができます。この装置はRENA Batch Nプラットフォームに基づいています。 RENAによって最適化されたPoly-Siエッチングと洗浄。BatchPolyClean は、効率と最適なプロセスパフォーマンスを大幅に向上させます。このシステムは、M0からG13までの様々なウェーハサイズと大容量カセットに対応しています。その結果、総所有コストを大幅に削減しながら、スループットの顕著な向上を実現し、最大で毎時15,000枚に達します。 RENA BatchPolyCleanは、太陽電池業界におけるTOPConセルのpoly-Si除去、シャントエッチング、およびその後の高性能洗浄の新たなスタンダードとなります。 RENA BatchClean N 自動処理装置は、シリコン太陽電池のバッチ式洗浄プロセス用です。お客様のご要望に応じて、多種多様なアルカリおよび酸性のプロセスが可能です。