ガラス用処理ライン BatchGlass LF HTX

エッチングジグ湿った

BatchGlass LF HTXは、ガラス基板用の半自動ウェット処理装置です。この装置は、小規模なウェハーから600 x 600 mmの大型パネルまで対応可能です。バッチプロセスでは、最大600 x 600 mmのパネルをエッチング、洗浄、乾燥することができます。特殊な条件下でのエッチングは、非常に高い選択性を可能にします。RENAは、エッチングのための基板のコンディショニングと、エッチング後の集中的な洗浄を可能にする、特別な前処理と後処理を提供します。ポストクリーニングプロセスは、小さくて深いキャビティを持つガラス基板にとって非常に重要になってきています。最適化されたフローを伴う洗練されたタンク設計は、エッチングの優れた均一性を保証します。これは、パッケージング業界向けのスルーガラスビア（TGV）のような、レーザーとエッチングを組み合わせたアプリケーションにとって極めて重要です。 特長と利点 最大600 x 600 mmの大判パネル加工 最適化されたタンク設計とフローによる優れたエッチング均一性 最適化された設置面積とコンパクト設計 年中無休の稼働と容易なプロセス拡張 最適化された前洗浄と後洗浄による最高の表面清浄度