自動補償器 RCU10

レーザー干渉計システムを真空以外の環境で使用する場合は、環境の変化が起こった場合においても精度を維持できるよう、何らかの方法で屈折率補正を行う必要があります。干渉計の原理はレーザー光線の波長に依存しており、レーザー波長は、ビームが通過する空気の屈折率によって異なります。 ±1 ℃の気温変化、±3.3mbar の気圧変化、50% の湿度の変化などの環境変化により、レーザー波長に 1ppm の変化が発生し、測定に影響が及びます。 RCU10 ユニットの入出力パラメータは、レニショーの設定ソフトウェア (RCU-CS) で設定します。本ソフトウェアは、このページの下にあるリンクからダウンロードできます。 特長とメリット 精度 - 気圧、温度センサーを使用したレーザーエンコーダの屈折率補正により、精度を ±1ppm 以内に改善 生産性の向上 - 物体温度センサーを使用したワークと機械構造の熱膨張補正により、プロセスの繰り返し精度を大幅に改善 フレキシビリティ - RCU10 はデジタル矩形波フィードバック信号を扱う様々なレーザーおよびスケールエンコーダの補正にも使用できます。