インクリメンタルリニアエンコ—ダ TONiC™ UHV RELM20

光学式非接触式アナログ

TONiC UHV とは TONiC UHV は超高真空に対応したレニショーのコンパクトな非接触式エンコーダシステムで、優れたモーションコントロールを実現します。 最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合のリニアおよびロータリーシステムとしての最高分解能は 1nm です。TONiC システムは広い取付け公差を備えており、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。TONiC の動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性が確保されており、優れたモーションコントロール性能が得られます。 RELM20 スケールとは RELM20 は、熱膨張率が低いニッケルと鉄の合金である ZeroMet™ から作られたスケールで、目盛りは 20µm ピッチで刻まれています。 ファインピッチガラススケールに匹敵する性能に加え、長さ 1.5m で±1µm 以内の精度（勾配とリニアリティーを含む）を備えています。ZeroMet の熱膨張率は、20℃で約 0.75 ±0.35µm/m/℃です。 ニーズに合わせて、特別製造の UHV 対応両面テープか機械式クリップによる取付け方式を選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。