インクリメンタルロータリエンコーダ TONiC™ UHV REXM20

光学式非接触式アナログ

TONiC UHV とは TONiC UHV は超高真空に対応したレニショーのコンパクトな非接触式エンコーダシステムで、優れたモーションコントロールを実現します。 最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合のリニアおよびロータリーシステムとしての最高分解能は 1nm です。TONiC システムは広い取付け公差を備えており、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。TONiC の動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性が確保されており、優れたモーションコントロール性能が得られます。 REXM20 リングとは REXM20 は、円周に 20µm のピッチでインクリメンタル目盛りを直接刻んだステンレススチールリングで、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマークが組み込まれています。厚めの断面設計になっているため、偏心を除くあらゆる取付誤差を最小に抑えることができ、偏心も DSi（デュアルシグナルインターフェース）と 2 個のリードヘッドを使用することで簡単に補正できます。最高±1arc 秒の取付け精度と、優れた繰り返し精度を備えており、結合部がないためカップリングロスの影響を受けません。 REXM20 にはサイズ（Ø52mm～Ø417mm）とラインカウントを各種用意しています。いずれも、内径が大きい中空構造であるため、装置への取付けがさまざまな方法で可能です。さらに非接触式のため、従来の密閉式のエンコーダに見られるバックラッシュ、シャフトのよじれ、その他のメカニカルなヒステリシス誤差の影響を受けません。