RESOLUTE UHV とは
RESOLUTE UHV は、超高真空アプリケーションにアブソリュートエンコーダ技術を利用できるようにしたもので、スループットを向上させ、損傷のリスクを低減しながら、信頼性を高められます。
RESOLUTE は、UHV 環境向けに設計されたあらゆるアブソリュートエンコーダを上回るパフォーマンスを備えています。100m/s で 1nm の分解能を備える RESOLUTE は、エンコーダ技術において画期的な仕様を実現しています。
英国女王(法人)賞:2015 年度イノベーション賞
2015 年度英国女王(法人)賞のイノベーション部門賞を受賞
RELA30 スケールとは
RELA30 は、熱膨張率が低いニッケルと鉄の合金である ZeroMet から作られたスケールで、絶対位置スケールコードは 30µm ピッチで刻まれています。
ファインピッチガラススケールに匹敵する性能に加え、長さ 1m で±1µm 以内の精度(勾配とリニアリティーを含む)を備えています。ZeroMet の熱膨張率は、20℃で 0.75 ±0.35µm/m/℃です。
ニーズに合わせて、特別製造の UHV 対応両面テープか機械式クリップによる取付け方式を選択できます。どちらの取付け方式でも、機材に影響されない熱膨張率を維持できます。