蛍光分光器 WDA-3650

波長分散型蛍光X線分光分析装置（WDXRF）プロセス自動

WDA-3650 薄膜の評価のためのWDA-3650 X線の蛍光性の分光計は薄膜装置開発の歴史を映したRigakuのXRFのウエファーの検光子の30年の歴史を続ける。この最も最近のXRFの度量衡学用具は新しい機能および低COO設計のメタル・フィルム厚さ、フィルムの構成および要素の集中のプロセス制御にかなり貢献する。 200mmのウエファーのためのXRF用具 200のmmのための多目的な、信頼できる用具およびより小さいウエファーは、WDA-3650 ferrodielectricフィルムのような困難な測定の優秀な結果のための私達の商標のX-Y-θのサンプル段階システムを、織込んでいる。マルチ チャネルは高い効率のための興味の多数の要素の同時測定を可能にする。エネルギー分散XRFシステムと比較されるこの波長分散XRFシステムの高エネルギーの決断は要素のピークが密接に間隔をあけられるときピーク重複を最小にして特に有用である。 優秀なほう素（b）の測定 ほう素の塗布のために、利用できる広告ほう素チャネルは前のモデルより5時間大きい感受性を提供する。300mm用具だけで利用できる前にAutoCal機能および作り付けの内部ウエファーの食肉牛は、fully-automated毎日用具の資格および強度の口径測定を可能にする。 密集した有効な設計 WDA-3650は貴重なクリーンルーム スペースの1つ以下のM2を要求する基本的な単位と非常に密集して側面の保守サービスのアクセスのための必要性がない。パワー消費量は前のモデルと比較される20%以上減った。