X線検査機 MFM310

ウェハー用高解像度

MFM310 Rigaku MFM310は光学か超音波技術によって可能ではない高精度の測定を行う。この洗練されたX線の度量衡学用具は極めて薄い単層のフィルムから多層積み重ねまで及ぶプロダクトおよび総括的なウエファーの高効率の測定を行うためにそれを実用的にさせる。 大量の製造業のために設計されている MFM310は心で製造する大量の200mmおよび300mmと設計されている:XRRおよびXRFによる高効率の厚さの測定、プロダクト ウエファーの測定のための低汚染のウエファーの処理およびパターン認識ベースのポジション・コントロール、半導体の生産のクリーン ルーム操作のための、所有権のGEM-300/HSMSおよび工場自動化の標準CEマークおよびS2/S8承諾、高信頼性機械性能および低い電力の消費および費用の承諾。 COLORS™技術を可能にする COLORS™のX線の光学はMFM310のためのRigakuによって小さい区域からの測定を可能にするために開発された。色はモジュールのカップル光学のいろいろなXRFの刺激源を発し、いろいろ薄膜の塗布に小さい点の高い明るさを提供するために最大限に活用される。自身のX線の光学ビジネスによって、Rigakuはwell-positioned成長する現在および市場の将来の必要性のためのX線の源を製造するためにであり。 特徴 マイクロ点のX線ビームおよびパターン認識 高効率、プロダクト ウエファーの測定 広範囲材料および適用 Ångstromsからのミクロンに厚さをカバーする高リゾリューションおよび精密 200mmおよび300mmのウエファーのため 300mmの工場自動化と利用できる 半基づく設計S2および半S8に