ウェハー用計量システム XHEMIS EX-2000

200mmまでのブランケット・ウェーハ用XRR/XRF測定ツール ブランケットウェハー上の膜の厚さ、密度、粗さ、および組成 蛍光X線（XRF）と反射X線（XRR）を用いて、極薄の単層フィルムから多層スタックまで、ブランケットウェーハの厚みや密度を非破壊でハイスループットに測定し、プロセス開発やフィルムの品質管理に活用できる汎用性の高いX線計測ツールです。 大量生産に適した設計 XHEMIS EX-2000は、最大200mmウェーハまでの大量生産に対応しています。測定前の卓越したステージアライメントにより、さまざまなウェーハサンプルを迅速かつ正確に測定することができます。また、高精度なステージ制御により、短時間での全面マッピング測定が可能です。 ユーザーフレンドリーな設計ツール XHEMIS EX-2000は、搬送ロボットを搭載することで、ウェーハの自動搬送が可能です。AutoCal（自動キャリブレーション機能）により、ツールの状態を一定に保つことができます。ユーザーフレンドリーなソフトウェアにより、ツールの操作やデータ解析が簡単に行えます。品質管理のための研究から生産まで、さまざまな用途にご利用いただけます。 幅広い素材と用途に対応 膜厚、密度、粗さの同時評価が可能 ハイスループットでのウェーハ測定 XRRによる絶対的な結果（校正標準が不要 XRFによるフルウェハマッピングと高速測定 オングストロームからミクロンまでの厚さをカバーする高解像度と高精度 200 mm、150 mm、125 mm、100 mmの各ウェハに対応 自動較正機能を搭載