ウェハー用糸加工機 RCL-8000/16000
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特徴
- 応用
- ウェハー用
詳細
スループット：8000-16000枚/時間
破損率：≤0.02%（M10サイズ以上のシリコンウェーハの場合）
稼働時間>98%
特徴
TOPCon、BC、HJT高効率太陽電池用リアサイドクリーン
PSG/BSG除去
優れた均一性、長い浴寿命
高スループット、低CoO
クイックバスチェンジ、インラインバスチェンジ
インテリジェント装置、エネルギー消費統計および分析機能
技量：
156-220mmシリコンウェーハ対応
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カタログ
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