シリコン研磨機 TX-V12000/16000産業用表面用
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特徴
- 加工素材のタイプ
- シリコン
- 特性
- 産業用
- その他の特徴
- 表面用
詳細
スループット：12000-16000ウェハ/時間
破損率M10<0.01%/m1298
特徴
TOPCon、BC、HJT高効率太陽電池用アルカリ研磨剤
研磨、エッチング、洗浄処理に使用
ナノバブル洗浄により、シリコンウェーハ表面の効率的な洗浄を実現。
ドライクリーンエリアとセルフクリーニングシステム
クロスコンタミネーションと反応オーバータイムを回避
不純物の沈殿を避けるために、関連材料をアップグレードする。
MES及びRFID機能付き
インテリジェント装置、エネルギー消費統計と分析機能
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カタログ
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