フィルム用製造ライン RC-5000/12000自動
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特徴
- 完成品
- フィルム用
- その他の特徴
- 自動
詳細
スループット：5000-12000ウェハ/時間（異なる生産能力要件に応じてカスタマイズ可能）
破損率：≤0.01
アップタイム：≥98.5
特徴
TOPCon、BC、HJT高効率太陽電池用SixNy&Al2O3膜除去装置
フレキシブルなプロセスシーケンス
効率的な洗浄と乾燥
高スループット、低CoO
インテリジェントな装置、エネルギー消費の統計と分析機能
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