スループット:7500@182、7200@210
破損率 0.08%@182; 0.08%@210
稼働率:99%以上
特徴
モードインラインとオフライン
フリーグレーディングソリューション
人工AOI、IV/EL
シングルレーンまたはデュアルレーン
オールインワンソリューションまたはスタンドアロンソリューション
共通ABレーンソリューション
MESインターフェースとリモートデバッグ機能をサポート
スマートIGVインターフェース
M10、M12、220-230mm、ハーフサイズのウェハーに対応
複数の印刷ラインに対応
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