生産用オートメーション システム ARK20

プロセス

スループット: 20000-30000 破損率 0.01%@182; 0.02%@210 稼働時間: ≥99 特徴 任意クレーン ボート移動解決か IGV のボート移動解決 リニアモーターガントリーフレーム設計、高速、安定性、信頼性 オプションの視覚フラワーキャリア欠片検出、石英ボートの破片検出、石英ボートの位置決め セグメント化された全体溶接スチールフレーム、安定した信頼性の高い構造。 MESインタフェースとリモートデバッグ機能をサポート スマートIGVインターフェース インテリジェント装置、OEE統計とエネルギー消費分析 M10、M12、220-230mm、フルサイズ、ハーフサイズのウェハーに対応。