生産用オートメーション システム RTA-PE-4000-9000

プロセス

スループット：4000-9000 破損率 0.04%@182; 0.05%@210 稼働率：99%以上 特徴 ストーブリ製またはファナック製マニピュレーターインサート（オプション セグメント化された全体溶接スチールフレーム、安定した信頼性の高い構造 オプションの目視反り検出とグラファイトボート位置決め MESインターフェースとリモートデバッグ機能をサポート スマートIGVインターフェース オンラインAOIとPL検出 インテリジェント装置、OEE統計とエネルギー消費分析 M10、M12、220-230mm、フルサイズ、ハーフサイズのウェーハに対応