生産用オートメーション システム RTA-PECVD-6000-16000

プロセス

処理能力：6000～16000 破損率: ≤0.04%@166; 0.04%@182; 0.04%@210 稼働時間: ≥99 特徴 任意ローディングおよび荷を下すことはまたは統合されたレイアウト分かれました セグメント化された全体的な溶接スチールフレーム、安定した信頼性の高い構造 オプションの自動ゴミ除去機能 MESインターフェースとリモートデバッグ機能をサポート スマートIGVインターフェース インテリジェント装置、OEE統計およびエネルギー消費分析 M10、M12、220-230mm、フルサイズおよびハーフサイズのウェハーに対応