高効率ヘテロ接合太陽電池のテクスチャリングとクリーニングに使用。
工程フロー
前洗浄→DI水洗浄→ノコギリ傷除去→DI水洗浄→テクスチャリング→DI水洗浄→PSC1-DI水洗浄→化学研磨(O3)→DI水洗浄→SC2処理→DI水洗浄→HF洗浄→DI水洗浄→温水乾燥→温風乾燥。
- MES、UPSおよびRFID機能と適した。
- 合理的なリフト分布により、薬液の二次汚染とプロセスバスの反応オーバータイムを効果的に避けることができます。
- コンパクトで合理的な構造レイアウトで、酸エリア、アルカリエリア、高清浄エリアはパーティションで分離され、設置面積が小さい。
- 先進的な二層浴構造により、バッチ処理量が400個/バッチに向上します。
- プロセスバスは「フィード&ブリード」モードと「時間投与」モードを組み合わせ、バスリフト時間を延長し、効果的にバス変更期間を短縮します。
- 吐出とメイクアップは二重磁歪式流量計を浴槽と吐出バレルに採用し、調節可能なバルブ流量制御構造により、初期メイクアップ時間と正確な吐出精度を確保します。
- プロセス液と接触するすべての材料を最適化し、アップグレードして、不純物の沈殿を避ける。
- 最新の低温乾燥技術により、浴槽内の清浄度と温度制御精度を確保し、太陽電池の少数キャリア寿命を延ばす。
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