ウェハー用糸加工機 SC-CSZ12000F-16G

単結晶ウェーハのテクスチャリングおよび洗浄に使用されます。 プロセスフロー ノコギリダメージ除去→前洗浄→単結晶テクスチャリング→後洗浄/O3洗浄→酸洗浄→温水乾燥→乾燥（参考値） - 処理能力：600枚/バッチ、12000枚/h--210枚(100枚カセット)、720枚/バッチ、15000枚/h--182枚(120枚カセット)。 - プロセスバス循環量調整可能 - 均一なピラミッドテクスチャ、エッチング深さ調整可能。 - クリーンドライエリアとセルフクリーニングドライシステム。 - 低H2O2消費。 - 迅速なインラインバス交換。 - MES、RFIDシステム、インライン重量検査オプションあり。