拡散炉 DOA-40 series

自動横型

低圧リン拡散とドーピング。 - 高シート抵抗のための技術的ソリューション。 - ユニークな二重層ネスト炉扉構造、効果的に炉口のメタリン酸の問題から解放されます。 - 独自の温度ゾーン設定により、炉口と炉尻のシート抵抗の均一性を効果的に保証します。 - 高速で安定した一体型モジュールボート押し機構。 - インテリジェントな自動制御 - 独立した知的財産権を持つMESソフトウェア。 - S.Cスマート生産管理システムのマッチング。