床置きガス清浄機 PS8 Series

フィルター窒素

窒素 PS8 MegaTorr 浄化器は改良され最適化された設計で、小さなフットプリントでサブppb 性能を提供します。 SAES Pure Gasは、超高純度（UHP）配管設計、高度なプロセス材料分析、最先端の統合制御システムにおいて長年の経験を積み、低資本コスト、高信頼性、高性能のニーズを満たす浄化器ファミリを開発してきました。 PS8シリーズは、半導体アプリケーション向けに超高純度ガスを供給するために特別に設計されたデュアル吸着プロセスを使用します。 CO、CO2、H2、H2OおよびO2の排出口不純物レベルは、10 億（ppb）レベルあたりの部品数に減少します。