1500-PO は、Satisloh のボックスコーターラインアップに新たに加わった製品です。本装置は、薄膜の高スループット塗布に最適な量産型塗布装置です。1500-POは、連続運転が可能で、信頼性が高く、安定した光学薄膜を形成することができます。
精密光学部品の大量生産に最適です。
1500-POは、24時間365日のコーティングオペレーションに最適なシステムです。強力で高速な拡散ポンプと大型マイズナートラップにより、高い生産性をお約束します。また、オプションの省エネキットを使用することで、システムの消費電力を削減し、ランニングコストを低減することができます。
効率性と柔軟性
迅速な生産サイクルにより、これまでにないスループットを実現します。
大容量:直径70 mmの光学系で最大305枚/バッチ。
卓越した表面積を持つ大型マイズナートラップにより、成膜プロセス開始時のポンプ時間を短縮。これにより、スループットが向上し、卓越した再現性でプロセス条件を安定させることができます。
パワフルで高速な拡散ポンプシステム。
簡単な操作性
ユーザーフレンドリーでインテリジェントなHMIソフトウェアにより、オペレーターはデータの入力、手順の設定、プロセスパラメータ間の変更を迅速に行うことができます。高度なコーティング実行データログ生成
シングルEBGおよび熱抵抗ソース。
電子ビームエミッタの部品点数を50%削減し、メンテナンスの容易さと信頼性を向上。
エナジーセービングキットの提供
MES-360との完全互換性。
ドライ予備排気グループ(オプション)。
---