PECVD貯蔵マシン PD-52 series

太陽光

主に、結晶シリコン太陽電池の製造における最高品質の反射防止膜の生成や、太陽電池の裏面のパッシベーション膜の成膜に使用されます。 グラファイトボート＆ウェハー準備→窒素導入→グラファイトボート投入→真空化、圧力テスト→アンモニア前洗浄、チェック→チューブ真空化、リークチェック、恒温→プレコート→コーティング→真空化、圧力テスト→チューブ洗浄、窒素導入→グラファイトボート降ろし。 - SiOxNy PERCプロセスに対応。 - ダブル冷却水フランジのシール技術。 - 特許取得済みの内部加熱技術 - 高速モジュールボート押し機構 - グラファイトボートと石英管を非接触で接続。 - 独立した知的財産権を持つMESソフトウェア - 独自に開発したCCCシステム - 高速コーティング技術 - 過熱、熱電対の破損、ボートの衝突に対するアラーム保護。