エネルギ－部門用アニール DOA-420 series

大量生産

低圧酸化、アニール。 - 高スループット。 - 特許技術、ホウ素拡散プロセスとの互換性またはアップグレード可能。 - ユニークな二重構造の炉扉。 - 高速で安定した一体型モジュールボート押し機構。