ウェハー用研磨機 SC-CSZJ9600E-15F

本装置は、拡散したウェハの研磨、エッチング、洗浄処理に使用され、また、二面性太陽電池のテクスチャリング、洗浄処理にも対応しています。 - 処理量：400枚/バッチ、8000枚/h。 - 裏面エッチング研磨、単結晶裏面テクスチャー処理に対応。 - 各種添加剤に対応。 - ウェーハの厚さは120μmまで対応可能です。 - ドライクリーンエリアとセルフクリーニングシステムを装備。 - インラインでのバス交換が可能です。 - MES、RFIDシステム、インライン重量テストのオプションあり。