インライン塗装ライン PAR5500A

透明導電膜(TCO)をウェハー、ガラス板、フレキシブル基板にコーティングするためのインライン物理コーティング装置です。 - マグネトロンスパッタ(PVD) - 反応性プラズマ蒸着(RPD) - シード層および複数屈折率タンデムTCOのための複数カソード操作。 - 高い移動度を維持しながら、基板へのボンバードメントがない。