装置の応用:選択エミッター(SE)太陽電池の製造に使用されるSEレーザー加工装置により、ホウケイ酸ガラス(BSG)表面にヘビードーピングを形成する。
プロセスの流れ
ロード→フォトポジショニング→加工→アンロード
- スループット>8000pcs/h(M10ウェハー)、サイクルタイム:0.9s=(レーザー1.6s+レーザースイッチング時間0.2s)/2、2pcs/1.8s。
- レーザー、走査型検流計、フィールドレンズとすべての光学部品は、PV業界で有名なブランドで、優れた安定性と信頼性を持っています。
- 高精度のカメラアライメント、特許取得のソフトウェアによるキネマティックキャリブレーションアルゴリズムにより、高精度のアライメントを実現します。
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