素材用準備ステーション A280

供給セルフレベリングメディア用

A280 フォロワープレートポンプは、A220 と基本設計を同じくし、信頼性の高い Scheugenpflug 製デュアルピストンポンプを搭載しています。このポンプは片側だけで材料と接触し、裏側にはバリア液があり、研磨性の充填物がシールに付着するのを防ぎます。これにより、研磨性の高いペースト状の材料を供給する場合、材料調整システムは比類のない耐用年数を実現します。 - 丈夫で耐久性のあるデュアルピストンポンプにより、長い耐用年数を実現 - 非常に使いやすい - 完全自動化された圧力と真空の制御による高いプロセス信頼性 - 頑丈で耐久性のあるデュアルピストンポンプによる連続供給 - 特許取得のバキュームフォロワープレートにより、気泡のないドッキングが可能 - バレルセンタリングユニット付き人間工学に基づいたホボック引き出しと直感的なSCP210コントローラによる簡単な操作性