半導体生産用クリーンルームシステム
ISO-クリーンルームクラス 6 (米国. 連邦運賃 スタンド. cl. 1'000)
•自立型のモジュラー構造システム
•複合パネル壁フィリング
•広範囲のクリーンルームウィンドウ
•革新的なシーリングシステム
•U15 ULPA高性能フィルターファンモジュール
•完全に統合された、フラッシュマウントされたクリーンルーム照明
•完全に統合された空気循環とリターン・エア
・ガイダンス
•完全に統合されたメディア供給 •パーソナルまたはマテリアル/クリーンルーム・ドア用の更衣室、敏感なスイッチと相互ドア連動制御
•完全に統合された規制
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