モジュール式クリーンルーム 3000.4.153

エレクトロニクス産業用

半導体・薄膜生産用クリーンルームシステム ISO-クリーンルームクラス6 (米国. 連邦運賃 スタンド. cl. 1'000) •自立型のモジュラー構造システム •複合パネル壁フィリング •広範囲のクリーンルームウィンドウ •革新的なシーリングシステム •U15 ULPA高性能フィルターファンモジュール •完全に統合された、フラッシュマウントされたクリーンルーム照明 •完全に統合された空気循環とリターン・エア ・ガイダンス •完全に統合されたメディア供給 •パーソナルまたはマテリアル/クリーンルーム・ドア用の更衣室、敏感なスイッチと相互ドア連動制御 •完全に統合された規制