生産用クリーンルームシステム半導体光学システム
ISO-クリーンルームクラス 6 (米国. 連邦運賃 スタンド. cl. 1'000)
•自立型のモジュラー構造システム
•複合パネル壁フィリング
•広範囲のクリーンルームウィンドウ
•革新的なシーリングシステム
•U15 ULPA高性能フィルターファンモジュール
•完全に統合された、フラッシュマウントされたクリーンルーム照明
•完全に統合された空気循環とリターンエアガイダンス
•完全に統合されたメディア供給
•
敏感なスイッチと相互ドア連動
制御を備えた個人用およびクリーンルームスライドドア用のチェンジ
•クリーンルームローリングドア付きマテリアルロック
•完全に統合された規制
---