このロボットは、ウェーハ(またはセル)を入側ベルトから出側ベルトの1~5本のトラックに搬送し、またその逆も行います。
さらに、ウェハーはトレイに仕分けされたり、トレイから取り出されたりします。個々のベルトがウェーハを搬送するため、異なるウェーハサイズに変換する必要がなく、穏やかな搬送が保証されます。
内蔵されたカメラシステムにより、ウェーハの位置、欠陥、重なりを検出します。位置のずれたウェーハは正しい位置に配置され、破損したウェーハや重なったウェーハは除去されます。
特殊なベルヌーイグリッパーを開発し、非接触で優しくグリップすることができます。
4,000枚/hの高スループット
移動可能で交換可能なボックスでの保管
ダブルウェーハ、割れウェーハの検出とボックスへの収納
6インチウェーハの欠陥検出とボックスへの分離回収により、5インチウェーハへの変換が可能。
最終トラックでの追加破損検出と除去により、次工程での堆積を防止します。
ダイヤモンドワイヤーカットウェーハに対応
アクセス性が良いため、メンテナンスが容易
---