ピックアンドプレースロボット
スパイダー5軸ウェハー運搬用

ピックアンドプレースロボット - SCHMID - スパイダー / 5軸 / ウェハー運搬用
ピックアンドプレースロボット - SCHMID - スパイダー / 5軸 / ウェハー運搬用
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特徴

タイプ
スパイダー
軸数
5軸
機能
ウェハー運搬用, ピックアンドプレース
設置方式
移動式
その他の特徴
高速

詳細

このロボットは、ウェーハ(またはセル)を入側ベルトから出側ベルトの1~5本のトラックに搬送し、またその逆も行います。 さらに、ウェハーはトレイに仕分けされたり、トレイから取り出されたりします。個々のベルトがウェーハを搬送するため、異なるウェーハサイズに変換する必要がなく、穏やかな搬送が保証されます。 内蔵されたカメラシステムにより、ウェーハの位置、欠陥、重なりを検出します。位置のずれたウェーハは正しい位置に配置され、破損したウェーハや重なったウェーハは除去されます。 特殊なベルヌーイグリッパーを開発し、非接触で優しくグリップすることができます。 4,000枚/hの高スループット 移動可能で交換可能なボックスでの保管 ダブルウェーハ、割れウェーハの検出とボックスへの収納 6インチウェーハの欠陥検出とボックスへの分離回収により、5インチウェーハへの変換が可能。 最終トラックでの追加破損検出と除去により、次工程での堆積を防止します。 ダイヤモンドワイヤーカットウェーハに対応 アクセス性が良いため、メンテナンスが容易

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。
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