水用洗浄機 溶媒自動プロセス
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特徴
- 技術
- 水用, 溶媒
- 操作方法
- 自動
- 応用
- プロセス, 光起電用途用
詳細
モジュール製造の分野では、下流工程の要求に応じて、基板表面をさまざまな品質で洗浄します。さまざまなライン構成により、最小径1μmまでのパーティクルを表面から除去することができます。
正確に調整・確認可能なプロセスパラメータによる、ガラス表面の穏やかで効率的な洗浄
モジュール構成が可能なライン設計により、下流工程に最適な表面処理を実現
高いプロセス信頼性と装置稼働率でガラス基板とフィルムを処理
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