酸糸加工機

レーザー

多結晶ウェハーでは、酸によるテクスチャリングが施されます。この工程では、製材工程で発生した不純物や損傷を除去します。同時に、ウェーハの表面は拡大されます。等方性テクスチャーは、反射を低減し、セルの効率に決定的な影響を与えます。 シュミットのアシッドテクスチャリングインラインシステムは、完璧な表面品質を実現します。すべてのコンポーネントが、40年以上にわたるマーケットリーダーの湿式処理における経験を体現しています。周波数制御されたポンプは、薬液の連続循環を保証し、その結果、作業幅全体にわたってウェハーの均一なテクスチャリングを実現します。自動供給と槽のモニタリングにより、装置オペレータは常にプロセス全体を完全に制御することができます。すべての測定値はデジタルで記録され、操作ユニット「SCHMID Watch」を通じて視覚化されます。オプションの反射測定装置により、吐出口での再現性を確認することができます。 洗練されたコンベアシステムにより、ウェハーの破損率を低く抑えることができます。新世代のスキージローラーにより、さらにドラッグアウトを大幅に低減しました。さらに、マルチカスケード技術により、純水の消費量を最小限に抑えています。ケミストリーバスの上方やタンク内で発生する蒸気は、排気システムにより効率的に抽出されます。インラインシステムのモジュール設計により、スループットやプロセスステップをお客様のニーズに合わせて対応することができます。 搬送ダメージのない優しいウェハーハンドリング 自動供給と槽監視によるプロセス制御 再現性を高めるための連続的な薬液の循環 水とケミストリーの消費量が少ない