処理装置 5500 series

薄膜の低コストインライン蒸着 SCHMID APCVDシステムは、誘電体膜蒸着のための低コストの代替手段を提供します。 ローラー搬送システムでは、プロセス中に基板のみが加熱されるため、電気および冷却要件が大幅に低減される。 1つのAPCVDシステム内で複数のインジェクタヘッドを直列に使用することができます。 3段の段階的な省電力絶縁により、エネルギー代をさらに削減できます。 インラインシステムは、ベルト搬送またはローラー搬送の2種類の構成で利用できます。 各輸送方法には利点があります。 生産実績のあるSCHMIDのAPCVDシステムには、コストを最小限に抑えながらプロセスのスループット、均一性、柔軟性を最大化するために、複数のインジェクタヘッドが直列に含まれています。 世界クラスのHMIにより、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーン環境で、すべてのプロセスパラメータを容易に監視および制御できます。 メンテナンス意識の高い設計により、ケミカルインジェクタと排気ダクトをシステム上に設置し、大幅なプロセスを中断することなく洗浄できます。 モジュール式の化学蒸気インジェクタヘッドアセンブリにより、コーティングチャンバからの迅速かつ容易な取り付けおよび取り外しが可能です。 すべてのインジェクタヘッド部品は耐久性のある精密機械加工構造で、長期使用後でも正確な化学物質送達を保証します。 SCHMIDの熱システムは、プロセスの安定性で有名になってきており、APCVDシステムはこの伝統を続けています。 安定した卓越した温度均一性制御により、一貫したプロセス結果が得られます。 さらに、精密なプロセス排気および前駆体フロー制御により、一貫したフィルム結果が得られます。